作为全球最大的晶圆代工厂，台积电在先进工艺及产能两方面都是NO.1优势，所以不愁订单，仅仅是EUV光刻机就拿下全球50%的份额，随着苹果A15、M1X、M2以及AMD Zen4芯片陆续量产，EUV产能也要爆发了。

台积电从7nm开始使用EUV工艺，不过7nm EUV工艺产能较低，只有华为麒麟990大规模使用了，苹果A13还是7nm增强版工艺。

从5nm工艺开始，台积电先进工艺全线使用EUV工艺，而且利用程度加深，明年还有3nm工艺，会进一步利用EUV光刻。

由于EUV光刻机一台售价高达1-1.5亿美元，高端型号更高，综合下来差不多要10亿人民币一台，台积电的投资也开始增加，今年资本开支就要提升到300亿美元，接下来的三年总计投入1000亿美元。

砸钱、砸设备之后，台积电的EUV产能今年下半年开始爆发，今年5nm产能将是2020年的两倍以上，2023年5nm及改进版的4nm工艺产能则是2020年的4倍以上。

今年的5nm工艺量产的主要是苹果A15移动处理器，还有M1X、M2电脑处理器，联发科的下一代旗舰芯片天玑2000系列，明年还会有AMD的Zen4处理器加入，订单充足。